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高純金剛石

主要參數(shù)指標

元素

含量

備注

氮(N

< 50 ppb

采用ERP(電子順磁共振)測得 

硼(B

< 1 ppb

用 SIMS(二次離子質(zhì)譜儀)測得

碳(13C

1.1%

天然豐度

碳(12C

98.9%

天然豐度

熱學性能



熱導率

2000 Wm-1K-1


熱膨脹系數(shù)(300K)

1.0±0.1 ppm·K-1


熱膨脹系數(shù)(1000K)

4.4±0.1 ppm·K-1


幾何性能



標準尺寸

2mmx2mm/3mm×3mm


標準厚度

0.5mm


拋光面粗糙度(nm)

上下表面

Ra< 5 nm


拋光面粗糙度(nm)

側(cè)面

Ra< 100 nm


晶體學取向

100,110,111